高純氮?dú)獾闹饕猛?/h2>
在集成電路、半導(dǎo)體和電真空器件制造中用作保護(hù)氣和運(yùn)載氣，化學(xué)氣相淀積時(shí)的載氣，液體擴(kuò)散源的攜帶氣，在高溫?cái)U(kuò)散爐中用作器件的保護(hù)氣。高純氮?dú)庠谕庋印⒐饪獭⑶逑春驼舭l(fā)等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮?dú)饧兌葹?9.99%以上。在航天技術(shù)中，液氫加注系統(tǒng)需要先用高純氮置換，再用高純氦置換。
在消防應(yīng)急措施與防護(hù)中，迅速撤離泄漏污染區(qū)人員上風(fēng)處，并進(jìn)行隔離，嚴(yán)格出入。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器。不要直接接觸泄漏物。盡可能切斷泄漏源。防止氣體在低凹處積聚，遇點(diǎn)火源著火爆炸。用排風(fēng)機(jī)將漏出氣送空曠處。漏氣容器要妥善處理，修復(fù)、檢驗(yàn)后再用。用霧狀水保持火場中容器冷卻。可用霧狀水噴淋加速液氮蒸發(fā)，但不可使用水槍射液氮。如吸入高純氮?dú)猓械胶粑щy，給輸氧。如呼吸停止，立即進(jìn)行人工呼吸。就醫(yī)。
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